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潔凈工程的凈化室中的溫度和氣壓控制
來源:www.dfsysc.cn 發布時間:2024-11-29

環境保護越來越受到人們的關注,特別是霧霾天氣越來越多。凈化器是環境保護措施之一,如何利用凈化器做好環境保護工作,下面講一下凈化工程的控制。

潔凈室內溫度和濕度的控制。

潔凈空間的溫度和濕度主要根據工藝要求確定,但在滿足工藝要求的情況下,應考慮人的舒適度。隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對溫度和濕度的要求越來越嚴格。

以后還要列出具體工藝對溫度的要求,但作為一般原則,由于加工精度越來越精細,對溫度波動范圍的要求也越來越小。舉例來說,在大規模集成電路生產的光刻曝光過程中,玻璃與硅片作為掩膜材料的熱膨脹系數的差異越來越小。

硅片直徑100um,溫度升高1度,會造成0.24um線性膨脹,因此必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗后,會對產品造成污染,尤其是怕鈉的半導體車間,這種車間不能超過25度。

濕度過高會導致更多的問題。當相對濕度超過55%時,冷卻水管壁會結露。如果發生在精密設備或電路中,會造成各種事故。相對濕度在50%時容易生銹。此外,當濕度過高時,硅片表面附著的灰塵會通過空氣中的水分子化學吸附在表面,難以去除。

相對濕度越高,附著力越難去除,但相對濕度低于30%時,由于靜電的作用,顆粒容易吸附在表面,大量半導體器件容易破壞。硅片生產的溫度范圍為35-45%。

潔凈室內的氣壓規定。

對于大多數清潔空間來說,為了防止外部污染,需要保持內部壓力(靜壓)高于外部壓力(靜壓)。壓差的維護一般應符合以下原則:

1.清潔空間的壓力高于非清潔空間的壓力。

2.高潔凈度空間的壓力高于相鄰低潔凈度空間。

三、相通潔凈室之間的門應開向潔凈度較高的房間。

壓差的維持依賴于新風量,這種新風量必須能夠補償在這種壓差下從間隙泄漏的風量。因此,壓差的物理意義是泄漏(或滲透)風量通過潔凈室各間隙時的阻力。

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